概念查询工具股票工具数据整理，截至2025年3月28日，集成电路设备上市公司成交量排行榜情况如下（数据仅供参考）：
第1名、至纯科技：成交量8380.25万手。3月28日消息，至纯科技开盘报31.24元，截至15点，该股涨10%，报31.240元。3日内股价上涨17.35%，换手率21.88%，成交量8380.25万手。
第2名、大族激光：成交量1869.37万手。3月28日消息，大族激光15点报28.510元，跌0.45%，总市值为299.98亿元，换手率1.91%，10日内股价下跌0.46%。
第3名、众合科技：成交量1814.74万手。众合科技（000925）10日内股价下跌12.92%，最新报8.130元/股，跌0.85%，今年来涨幅下跌-6.64%。
第4名、长电科技：成交量1518.58万手。3月28日长电科技消息，该股15点报35.900元，跌0.42%，换手率0.85%，成交量1518.58万手，今年来下跌-13.82%。
第5名、万业企业：成交量1291.93万手。3月28日消息，万业企业5日内股价下跌4.03%，最新报14.880元，成交量1291.93万手，总市值为138.48亿元。
第6名、宇晶股份：成交量1142.99万手。
第7名、长川科技：成交量1116.85万手。3月28日收盘消息，长川科技5日内股价下跌5.13%，截至15点，该股报41.520元，跌1.59%，总市值为261.77亿元。
第8名、拓荆科技：成交量881.56万手。3月28日收盘消息，拓荆科技开盘报价170.9元，收盘于157.290元。7日内股价下跌7.19%，总市值为439.99亿元。
第9名、中微公司：成交量868.05万手。3月28日消息，中微公司截至15点，该股跌2.84%，报184.310元；5日内股价下跌3.68%，市值为1147.08亿元。
第10名、捷佳伟创：成交量814.14万手。当前市值221.39亿。3月28日消息，捷佳伟创开盘报63.61元，截至下午三点收盘，该股跌0.02%报63.670元。
第11名、晶盛机电：成交量753.8万手。3月28日下午三点收盘，晶盛机电(300316)今年来上涨2.15%，最新股价报32.600元，当日最高价为33.45元，最低达32.6元，换手率0.61%，成交额2.48亿元。
第12名、北方华创：成交量713.92万手。3月28日收盘消息，北方华创跌3.37%，最新报415.900元，成交金额29.83亿元，换手率1.34%，振幅跌3.37%。
第13名、芯源微：成交量567.88万手。3月28日消息，芯源微（688037）收盘跌1.08%，报96.860元/股，成交量567.88万手，换手率2.83%，振幅跌1.08%。
第14名、弘元绿能：成交量549.84万手。3月28日15点收盘，弘元绿能(603185)今年来下跌-6.91%，最新股价报15.200元，当日最高价为15.64元，最低达15.19元，换手率0.81%，成交额8444.68万元。
第15名、华兴源创：成交量433.14万手。3月28日收盘消息，华兴源创5日内股价下跌3.78%，截至下午三点收盘，该股报30.460元，跌3.76%，总市值为135.66亿元。
第16名、劲拓股份：成交量381.89万手。3月28日收盘最新消息，劲拓股份昨收16.5元，截至15时，该股跌1.94%报16.180元。
第17名、华海清科：成交量288.27万手。3月28日消息，华海清科5日内股价下跌0.69%，该股最新报168.750元跌1.65%，成交4.94亿元，换手率1.7%。
第18名、炬光科技：成交量250.38万手。3月28日收盘消息，炬光科技688167收盘跌4.3%，报75.000。市值67.77亿元。
第19名、易天股份：成交量212.5万手。截至3月28日下午3点收盘，易天股份报19.400元，跌2.02%，换手率2.29%，成交量212.5万手，市值为27.19亿元。
第20名、盛美上海：成交量176.83万手。3月28日，下午三点收盘盛美上海股票跌3.37%，当前价格为100.000元，成交额达到1.82亿元，换手率0.41%，公司的总市值为441.29亿元。
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