微纳直写光刻有哪些上市公司？
芯碁微装（688630）：
回顾近30个交易日，芯碁微装股价上涨2.38%，最高价为79.78元，当前市值为101.18亿元。
微纳直写光刻技术为核心的直接成像及直写光刻设备研发、制造、销售及维保。
6月6日收盘消息，芯碁微装收盘于76.800元，跌2.9%。今年来涨幅上涨24.84%，总市值为101.18亿元。
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