光刻清洗设备概念上市公司有哪些？据开云手机web版登录入口概念查询工具数据显示，光刻清洗设备概念上市公司有：
沃特股份（002886）：
11月14日沃特股份开盘报价20.68元，收盘于20.310元，跌2.59%。当日最高价为20.68元，最低达20.28元，成交量325.57万手，总市值为53.46亿元。
飞鹿股份（300665）：
10月31日飞鹿股份消息，7日内股价上涨7.23%，该股最新报10.090元涨1.75%，成交总金额1.62亿元，市值为22.09亿元。
捷佳伟创（300724）：
11月12日消息，捷佳伟创开盘报价102.02元，收盘于93.060元，涨4.56%。今年来涨幅上涨32.08%，市盈率11.72。
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