康达新材（002669）：
光刻机龙头股。从公司近三年净利润复合增长来看，最高为2022年的4786.15万元。
康达新材在近30日股价上涨15.86%，最高价为11.01元，最低价为8.95元。当前市值为32.52亿元，2025年股价上涨10.17%。
雅克科技（002409）：
光刻机龙头股。从雅克科技近三年净利润复合增长来看，近三年净利润复合增长为28.88%，最高为2024年的8.72亿元。
公司的光刻胶业务主要通过经营实体韩国Cotem公司以及韩国斯洋具体开展。子公司江苏先科的新建产能主要集中在新的前驱体产品和光刻胶上游的一些原材料。
回顾近30个交易日，雅克科技股价下跌4.41%，最高价为57.9元，当前市值为249.43亿元。
蓝英装备（300293）：
光刻机龙头股。从蓝英装备近三年扣非净利润复合增长来看，近三年扣非净利润复合增长为-47.69%，过去三年扣非净利润最低为2022年的-7468.09万元，最高为2024年的-2043.41万元。
公司在物料搬运（输送、移栽、分拣、堆码垛、立体化仓库等）中广泛采用机器人技术和自动化技术、自主开发立体库控制和管理软件以及物流自动化系统管理软件，有移动机器人、SCARA机器人等机器人产品。
近30日股价下跌3.65%，2025年股价下跌-9.23%。
晶瑞电材（300655）：
光刻机龙头股。从晶瑞电材近五年净利润复合增长来看，过去五年净利润最低为2024年的-1.8亿元，最高为2021年的2.01亿元。
回顾近30个交易日，晶瑞电材上涨10.48%，最高价为9.12元，总成交量6.91亿手。
苏大维格（300331）：
光刻机龙头股。从公司近三年扣非净利润复合增长来看，近三年扣非净利润复合增长为-44.95%，过去三年扣非净利润最低为2022年的-3.12亿元，最高为2023年的-6635.9万元。
近30日苏大维格股价上涨7.41%，最高价为22.2元，2025年股价下跌-5.46%。
大族激光（002008）：
光刻机龙头股。从公司近三年扣非净利润复合增长来看，近三年扣非净利润复合增长为-32.59%，过去三年扣非净利润最低为2024年的4.45亿元，最高为2022年的9.78亿元。
回顾近30个交易日，大族激光下跌3.57%，最高价为25.13元，总成交量5.85亿手。
冠石科技（605588）：
光刻机龙头股。从近三年净利润复合增长来看，最高为2022年的8163.3万元。
冠石科技在近30日股价下跌1.54%，最高价为52.01元，最低价为45.62元。当前市值为33.36亿元，2025年股价上涨10.22%。
光刻机概念股其他的还有：
东材科技（601208）：
5月30日消息，东材科技（601208）收盘跌1.75%，报8.990元/股，成交量866.59万手，换手率0.97%，振幅跌1.75%。
万业企业（600641）：
5月28日，万业企业收盘跌0.93%，报于13.820。当日最高价为13.95元，最低达13.75元，成交量478.9万手，总市值为128.61亿元。
电科数字（600850）：
5月30日消息，电科数字开盘报价23.29元，收盘于23.140元，跌1.28%。当日最高价23.32元，最低达23.02元，总市值158.77亿。
华微电子（600360）：
5月30日收盘消息，ST华微7日内股价上涨4.5%，最新涨0.73%，报6.890元，换手率1.52%。
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