光刻机上市公司有哪些，主要利好哪些上市公司？

　　光刻机概念股有：

　　晶瑞电材300655：

　　从近三年ROE来看，近三年ROE均值为7.77%，过去三年ROE最低为2019年的5.76%。

　　公司购买的ASMLXT1900Gi型ArF浸入式光刻机设备用于公司集成电路制造用高端光刻胶研发项目，用于测试光刻胶产品性能，公司无生产芯片业务。

　　芯源微688037：

　　从近三年ROE来看，近三年ROE均值为11.2%，过去三年ROE最低为2020年的6.31%。

　　作为与光刻机配合进行作业的关键处理设备，公司生产的涂胶/显影机成功打破国外厂商垄断并填补国内空白，其中在LED芯片制造及集成电路制造后道先进封装等环节，作为国内厂商主流机型已成功实现进口替代；通过多年的技术研发、实践应用积累以及持续承担国家02重大专项，公司成功突破了应用于集成电路制造前道晶圆加工环节的涂胶显影设备技术，成型产品目前正在长江存储、上海华力等前道芯片制造厂商进行工艺验证。

　　永太科技002326：

　　从近三年ROE来看，近三年ROE均值为9.32%，过去三年ROE最低为2020年的3.67%，最高为2018年的15.54%。

　　截至20年10月，公司光刻胶项目目前生产线已建成待商业化生产，公司正在积极与下游客户商谈合作，该项目产能为1500吨/年CF光刻胶。 。

　　万业企业600641：

　　从近三年ROE来看，近三年ROE均值为10.07%，过去三年ROE最低为2020年的4.88%，最高为2018年的15.97%。

　　公司全资子公司凯世通作为生产N型太阳能电池所需的光伏离子注入机的国内唯一厂商；参股公司（持股19%）上海半导体装备材料基金宣布入股华卓精科，标的企业生产的光刻机双工件台打破了ASML公司在光刻机工件台上的技术垄断，成为世界唯二掌握双工件台核心技术的公司。

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