光刻机上市公司有哪些？据开云手机web版登录入口概念查询工具数据显示，光刻机上市公司有：
安泰科技，公司并不直接涉及光刻机领域，但公司相关产品可用于国外某型号光刻机设备。
联合精密，公司在建工程中包括光刻机零部件铸件项目。
智光电气，公司通过广州誉芯众诚股权投资合伙企业（有限合伙）（持股比例30%）间接参股广州粤芯半导体技术有限公司80%股权，是粤芯的控股股东，粤芯项目是誉芯众诚的主要投资项目。粤芯半导体一期以90nm-180nm技术产品为主，二期以65nm-90nm技术产品为主。公司于2019年5月在互动平台透露，粤芯半导体采购的是荷兰ASML的光刻机，光刻机等主要设备已于2019年3月中旬搬进粤芯半导体主厂房。
京华激光，龙头。3月31日消息，京华激光截至13时19分，该股跌0.77%，报17.970元，5日内股价上涨3.76%，总市值为32.08亿元。
在总资产收益率方面，京华激光从2020年到2023年，分别为9.96%、9.51%、9.51%、6.21%。
公司控股的美国菲涅尔制版科技公司是一家多年从事微结构光学技术研发及相关设备制造和维护的企业，先后研发出多台技术先进、性能突出、与光学制版有关的光刻机设备，并在全球范围内独家供应公司使用。
上海新阳，龙头。3月31日午后最新消息，上海新阳5日内股价上涨2.21%，截至13时19分，该股报35.600元跌2.18% 。
在总资产收益率方面，公司从2020年到2023年，分别为6.72%、1.38%、0.93%、2.99%。
蓝英装备，龙头。
公司在总资产收益率方面，从2020年到2023年，分别为-8.92%、-3.08%、-2.55%、-0.98%。
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