冠石科技：龙头股，
在营业总收入同比增长方面，从2020年到2023年，分别为32.32%、26.34%、-20.69%、-19.26%。
回顾近30个交易日，冠石科技下跌3.03%，最高价为62.99元，总成交量1.28亿手。
根据公司规划2025年45nm掩膜板量产，2028年28nm掩膜版量产。
福晶科技：龙头股，
福晶科技在归属净利润同比增长方面，从2020年到2023年，分别为6.81%、33.19%、18.3%、-7.65%。
福晶科技在近30日股价下跌24.8%，最高价为39.3元，最低价为38.01元。当前市值为144.88亿元，2025年股价下跌-5.16%。
中K院旗下公司，光刻机的中坚力量，间接供货荷兰ASML公司光刻机激光光源晶体。
苏大维格：龙头股，
公司2024年第三季度营收同比增长-0.75%至4.63亿元， 毛利率19.07%，净利率1.58%。
近30日股价下跌35.78%，2025年股价下跌-28.14%。
海立股份：龙头股，
2024年第三季度，海立股份公司营业总收入同比增长-0.06%至41.92亿元；净利润为1850.88万，同比增长146.95%，毛利润为5.32亿，毛利率12.7%。
近30日股价下跌15.78%，2025年股价下跌-15.97%。
国产光刻机概念股其他的还有：
百川股份：光刻机溶剂PMA。
上海新阳：ARF光刻胶处于客户测试阶段。
南大光电：ARF光刻胶获部分客户认证。
赛微电子：主营MEMS芯片工艺开发及晶圆制造，GaN外延材料研发生产及芯片设计。子公司Silex为全球光刻龙头公司提供微镜系统。
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