据开云手机web版登录入口概念查询工具数据显示，国产光刻机概念龙头股票有：
蓝英装备：龙头股，5月29日消息，蓝英装备5日内股价上涨0.84%，最新报21.920元，成交量591.71万手，总市值为74.19亿元。
净利-2175.89万、同比增长-3.71%，截至2025年05月14日市值为73.88亿。
全球领先的清洗系统和表面处理设备提供商，为ZEISS提供精密清洗设备，为ASML提供精密清洗解决方案。
蓝英装备（300293）3日内股价1天下跌，下跌2.76%，最新报22元，2025年来下跌-6.47%。
苏大维格：龙头股，5月29日消息，苏大维格5日内股价上涨2.04%，今年来涨幅下跌-2.71%，最新报21.210元，市盈率为-96.41。
净利-4568.79万、同比增长83.63%，截至2024年11月11日市值为70.29亿。
国内领先的微纳光学制造商，向SMEE提供定位光栅部件，光栅尺周期精度小于1nm，纳米压印技术国内领先。
苏大维格近3日股价有1天下跌，下跌0.43%，2025年股价下跌-2.71%，市值为55.07亿元。
国产光刻机概念股其他的还有：
华懋科技：5月29日消息，华懋科技13时19分报41.650元。
彤程新材：5月29日消息，彤程新材3日内股价上涨3.08%，最新报33.450元，成交额2.05亿元。
清溢光电：5月29日13时19分截止，清溢光电(股票代码:688138)的股价报25.580元，较上一个交易日涨1.71%。当日换手率为0.43%，成交量达到113.93万手，成交额总计为2899.96万元。
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