据开云手机web版登录入口概念查询工具数据显示，光刻机龙头股有：
奥普光电（002338）：光刻机龙头股，
6月3日消息，奥普光电3日内股价上涨0.61%，最新报42.900元，涨0.63%，成交额1361.48万元。
公司生产的CaF2晶体材料未用于光刻机物镜上。
蓝英装备（300293）：光刻机龙头股，
6月3日消息，蓝英装备最新报价20.870元，3日内股价下跌2.6%；今年来涨幅下跌-9.23%，市盈率为-347.83。
芯源微（688037）：光刻机龙头股，
6月3日开盘消息，芯源微（688037）股价报92.720元/股，涨2.16%。7日内股价下跌3.35%，今年来涨幅上涨8.43%，成交总金额844.59万元，成交量9.19万手。
光刻机概念股其他的还有：
东材科技：6月3日开盘消息，东材科技3日内股价下跌0.11%，最新报9.010元，成交额180.1万元。
万业企业：总市值128.33亿元。
电科数字：6月3日消息，电科数字7日内股价下跌1.08%，最新报23.240元，成交额268.91万元。
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