据开云手机web版登录入口概念查询工具数据显示，2025年光刻机龙头股上市公司有：
海立股份600619：光刻机龙头。
6月3日消息，海立股份6月3日主力净流出528.51万元，超大单净流出375.63万元，大单净流出152.88万元，散户净流入1489.89万元。
6月4日开盘消息，海立股份今年来涨幅下跌-9.12%，最新报11.210元，成交额237.13万元。
蓝英装备300293：光刻机龙头。
6月3日消息，蓝英装备6月3日主力资金净流出1191.27万元，超大单资金净流入62.62万元，大单资金净流出1253.89万元，散户资金净流入1700.78万元。
蓝英装备（300293）10日内股价下跌7.19%，最新报20.610元/股，涨0.05%，今年来涨幅下跌-10.4%。
福晶科技002222：光刻机龙头。
2025-06-03该股主力净入-20524200元，其中资金流入方面：超大单净入11777700元，大单净入42258900元，中单净入64358100元，散户净入79459000元；资金流出方面：超大单净出13188300元，大单净出61372400元，中单净出71251400元，散户净出52041500元。
6月4日，福晶科技开盘报31.76元，截至09时48分，报31.860元，成交额167.81万元，换手率0.01%，市值为149.82亿元。
三安光电600703：光刻机龙头。
6月3日消息，三安光电资金净流出4146.1万元，超大单资金净流出1853.54万元，换手率0.01%，成交金额383.15万元。
6月4日消息，三安光电截至09时48分，该股报12.150元，涨0.25%，3日内股价下跌4.12%，总市值为606.17亿元。
光刻机概念股其他的还有：
东材科技：6月4日消息，东材科技3日内股价下跌0.22%，最新报9.180元，涨2.41%，成交额139.75万元。
万业企业：6月4日开盘消息，万业企业5日内股价下跌1.02%，今年来涨幅下跌-6.1%，最新报13.820元，成交额293.76万元。
电科数字：6月4日开盘消息，电科数字3日内股价下跌0.64%，最新报23.360元，成交额223.36万元。
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