概念查询工具资金流向工具数据整理，截至5月23日，PVD/CVD设备概念股主力净流入排名情况如下：
TOP1、北方华创主力净流入：1776.16万元
TOP2、英杰电气主力净流入：1621.26万元
TOP3、帝尔激光主力净流入：674.47万元
TOP4、京山轻机主力净流入：405.08万元
TOP5、富创精密主力净流入：375.39万元
TOP6、高测股份主力净流入：24.81万元
TOP7、华亚智能主力净流入：-35.84万元
TOP8、微导纳米主力净流入：-125.61万元
TOP9、华海清科主力净流入：-219.91万元
TOP10、盛美上海主力净流入：-364.31万元
北方华创（002371）
5月23日消息，北方华创资金净流入1776.16万元，超大单资金净流入1338.38万元，换手率0.68%，成交金额15.5亿元。5月23日消息，北方华创开盘报价422.86元，收盘于424.860元，涨0.47%。当日最高价428.3元，市盈率40.19。
英杰电气（300820）
5月23日该股主力资金净流入1621.26万元，超大单资金净流入3227.46万元，大单资金净流出1606.19万元，中单资金净流出2276.41万元，散户资金净流入655.14万元。5月23日收盘消息，英杰电气最新报价48.500元，涨5.8%，3日内股价上涨6.74%；今年来涨幅下跌-13.92%，市盈率为33.22。
帝尔激光（300776）
5月23日消息，资金净流入674.47万元，超大单净流入231.38万元，成交金额1.3亿元。5月23日收盘消息，帝尔激光最新报价55.790元，3日内股价下跌1.85%，市盈率为28.76。
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