概念查询工具财报工具数据整理，截至2025年第一季度，国产光刻机概念股归属净利润排名情况如下：
TOP1、张江高科：归属净利润2.94亿元，总市值534.76亿元
TOP2、上海电气：归属净利润2.92亿元，总市值1348.88亿元
TOP3、上海机电：归属净利润2.04亿元，总市值323.29亿元
TOP4、大族激光：归属净利润1.63亿元，总市值344.61亿元
TOP5、彤程新材：归属净利润1.6亿元，总市值213.23亿元
TOP6、东方明珠：归属净利润1.21亿元，总市值273.66亿元
TOP7、南大光电：归属净利润9556.12万元，总市值241.56亿元
TOP8、华懋科技：归属净利润8642.19万元，总市值175.55亿元
TOP9、同飞股份：归属净利润6190.69万元，总市值130.89亿元
TOP10、清溢光电：归属净利润5174.22万元，总市值103.25亿元
TOP11、上海新阳：归属净利润5118.19万元，总市值178.06亿元
TOP12、新莱应材：归属净利润5098.77万元，总市值162.31亿元
TOP13、福晶科技：归属净利润4991.45万元，总市值203.05亿元
TOP14、华特气体：归属净利润4439.65万元，总市值71.99亿元
TOP15、晶瑞电材：归属净利润4350.26万元，总市值123.86亿元
张江高科（600895）
张江高科2025年第一季度季报显示，公司毛利率28.36%，净利率23.33%，营收12.19亿，同比增长24.41%，归属净利润2.94亿，同比增长147.38%，当前总市值394.14亿，动态市盈率40.4倍。资金流向数据方面，8月20日主力资金净流流出1.81亿元，超大单资金净流出1.67亿元，大单资金净流出1438.53万元，散户资金净流入2.81亿元。
上海电气（601727）
公司毛利率18.4%，净利率2.87%，2025年第一季度营收222.45亿，同比增长8.06%，归属净利润2.92亿，同比增长145.69%，当前总市值1129.54亿，动态市盈率151.04倍。8月20日消息，上海电气主力净流出1.62亿元，超大单净流出1.43亿元，散户净流入1.02亿元。
上海机电（600835）
公司2025年第一季度毛利率15.84%，净利率7.51%，营收42.12亿，同比增长-2.3%，归属净利润2.04亿，同比增长-4.13%，当前总市值237.99亿，动态市盈率25.29倍。8月20日消息，上海机电主力资金净流出3.62亿元，超大单资金净流出3.38亿元，散户资金净流入2.34亿元。
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