苏大维格300331：光刻机龙头股，
从苏大维格近三年净利率来看，近三年净利率均值为-13.83%，过去三年净利率最低为2021年的-20.77%，最高为2023年的-3.42%。
公司光刻设备主要为紫外光刻直写设备，公司光刻机从设计、组装以及所用软件的开发，均由本公司自主完成，主要用于柔性电子、MEMS以及半导体上游器件等产品的研发与制造。其在满足自身需求的基础上，同时也已逐步面向国内外高校和研究所销售；2018年，公司精密光刻设备分别交付安徽大学、湖南大学、中科院病毒所等知名高校与研究所，进一步加大了公司在激光微纳加工领域的影响力。
苏大维格在近30日股价下跌0.44%，最高价为23.18元，最低价为20.29元。当前市值为52.53亿元，2025年股价下跌-6.92%。
京华激光603607：光刻机龙头股，
从近三年ROE来看，近三年ROE均值为11.23%，过去三年ROE最低为2023年的9.26%，最高为2022年的12.54%。
回顾近30个交易日，京华激光股价上涨3.35%，总市值上涨了1.2亿，当前市值为32.01亿元。2025年股价上涨9.2%。
大族激光002008：光刻机龙头股，
从近五年净利率来看，大族激光近五年净利率均值为8.51%，过去五年净利率最低为2019年的6.44%，最高为2021年的12.74%。
近30日股价上涨3.86%，2025年股价上涨10.65%。
光刻机概念股其他的还有：
安泰科技000969：近3日股价下跌3.26%，2025年股价上涨13.36%。公司并不直接涉及光刻机领域，但公司相关产品可用于国外某型号光刻机设备。
联合精密001268：近3日股价下跌1.64%，2025年股价上涨18.11%。公司在建工程中包括光刻机零部件铸件项目。
红宝丽002165：回顾近3个交易日，红宝丽有1天下跌，期间整体下跌9.69%，最高价为5.91元，最低价为7.35元，总市值下跌了4.34亿元，下跌了9.69%。公司的主要产品是异丙醇胺，该产品可以应用于光刻胶清洗。
智光电气002169：智光电气在近3个交易日中有3天下跌，期间整体下跌3.61%，最高价为6.13元，最低价为5.98元。2025年股价下跌-5.85%。公司通过广州誉芯众诚股权投资合伙企业（有限合伙）（持股比例30%）间接参股广州粤芯半导体技术有限公司80%股权，是粤芯的控股股东，粤芯项目是誉芯众诚的主要投资项目。粤芯半导体一期以90nm-180nm技术产品为主，二期以65nm-90nm技术产品为主。公司于2019年5月在互动平台透露，粤芯半导体采购的是荷兰ASML的光刻机，光刻机等主要设备已于2019年3月中旬搬进粤芯半导体主厂房。
普利特002324：普利特（002324）3日内股价3天下跌，下跌3.64%，最新报9.61元，2025年来上涨0.83%。持股25%理硕科技股权，截至20年8月，标的目前正处于产品研发阶段，主要方向是KrF和ArF、TFT、PSPI等光刻胶产品的企业；公司控股子公司上海普利特半导体材料投资了江苏影速集成电路装备1.27%的股权，该公司主要生产激光直写的光刻机设备，主要应用在PCB、FPC、HDI和集成电路掩膜板。
北方华创002371：北方华创在近3个交易日中有1天下跌，期间整体下跌3.46%，最高价为435.54元，最低价为424.2元。2025年股价上涨6.01%。芯片产业链卖铲人，半导体设备国内第一，能够提供除光刻机以外的所有设备，国内唯一一家具有8英寸立式扩散炉和清洗设备生产能力的公司，自主研发14nm等离子硅刻蚀机。前身是七星电子。除了半导体设备，也包括真空设备业务（光伏）、电子元器件业务。
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