据开云手机web版登录入口概念查询工具数据显示，国产光刻机概念龙头上市公司有：
蓝英装备300293：龙头，
近3日蓝英装备股价上涨4.34%，总市值下跌了5.69亿元，当前市值为73.24亿元。2025年股价下跌-4.99%。
全球领先的清洗系统和表面处理设备提供商，为ZEISS提供精密清洗设备，为ASML提供精密清洗解决方案。
冠石科技605588：龙头，
回顾近3个交易日，冠石科技期间整体上涨5.46%，最高价为39.91元，总市值上涨了1.89亿元。2025年股价上涨13.41%。
根据公司规划2025年45nm掩膜板量产，2028年28nm掩膜版量产。
国产光刻机概念股其他的还有：
南大光电300346：近7日南大光电股价上涨4.22%，2025年股价上涨0.8%，最高价为39.5元，市值为224.05亿元。
赛微电子300456：近7日赛微电子股价下跌6.54%，2025年股价下跌-8.12%，最高价为17.57元，市值为116.35亿元。
彤程新材603650：彤程新材近7个交易日，期间整体下跌3.26%，最高价为32.26元，最低价为33.06元，总成交量4877.36万手。2025年来下跌-11.65%。
奥普光电002338：近7个交易日，奥普光电下跌5.93%，最高价为42.3元，总市值下跌了5.71亿元，下跌了5.93%。
旭光电子600353：近7日旭光电子股价下跌18.36%，2025年股价上涨10.42%，最高价为10.2元，市值为66.99亿元。
百川股份002455：近7个交易日，百川股份下跌14.71%，最高价为7.99元，总市值下跌了6.12亿元，2025年来下跌-6.71%。
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