概念查询工具股票工具数据整理，截至2025年5月23日，PVD/CVD设备上市公司主力净流入排行榜中，北方华创位列第一位，主力净流入达到1776.16万元；英杰电气排名第二，主力净流入为1621.26万元；帝尔激光排名第三，主力净流入674.47万元。主力净流入排名前10的还有：京山轻机、富创精密、高测股份、华亚智能、微导纳米、华海清科、盛美上海。
第一、北方华创1776.16万元
截至5月23日15时，北方华创报424.860元，涨0.47%，换手率0.68%，成交量364.68万手，市值为2270.07亿元。5月23日消息。
第二、英杰电气1621.26万元
5月23日收盘消息，英杰电气最新报价48.500元，3日内股价上涨6.74%，市盈率为33.22。5月23日消息，资金净流入1621.26万元，超大单净流入3227.46万元，成交金额4.5亿元。
第三、帝尔激光674.47万元
5月23日消息，帝尔激光截至收盘，该股跌0.75%，报55.790元，5日内股价下跌2.65%，总市值为152.62亿元。5月23日消息，资金净流入674.47万元，超大单资金净流入231.38万元，成交金额1.3亿元。
第四、京山轻机405.08万元
5月23日，京山轻机(000821)今日开盘报11.1元，收盘价为11.050元，涨0.9%，日换手率为1.16%，成交额为7788.49万元，近5日该股累计下跌1.54%。资金流向数据方面，5月23日主力资金净流流入405.08万元，超大单资金净流入758.75万元，大单资金净流出353.67万元，散户资金净流出460.71万元。
第五、富创精密375.39万元
5月22日收盘消息。5月23日该股主力净流入375.39万元，超大单净流入94.63万元，大单净流入280.77万元，中单净流入472.5万元，散户净流出847.89万元。
第六、高测股份24.81万元
5月23日收盘消息，高测股份（688556）跌1.99%，报9.870元，成交额9127.64万元。5月23日主力资金净流入24.81万元，超大单资金净流入128.51万元，换手率1.67%，成交金额9127.64万元。
第七、华亚智能-35.84万元
5月23日收盘消息，华亚智能最新报价52.410元，跌0.13%，3日内股价上涨1.16%；今年来涨幅上涨21.01%，市盈率为54.59。5月23日消息。
第八、微导纳米-125.61万元
5月23日收盘消息，微导纳米最新报价29.950元，涨0.71%，3日内股价下跌0.17%；今年来涨幅上涨10.22%，市盈率为59.9。5月23日消息。
第九、华海清科-219.91万元
截至发稿，华海清科（688120）跌0.03%，报152.040元，成交额2.28亿元，换手率0.88%，振幅跌0.5%。5月23日主力资金净流出219.91万元，超大单资金净流出1022.29万元，换手率0.88%，成交金额2.28亿元。
第十、盛美上海-364.31万元
5月23日消息，盛美上海3日内股价下跌2.28%，最新报100.060元，跌0.03%，成交额7960.58万元。5月23日该股主力净流出364.31万元，超大单净流出124.06万元，大单净流出240.25万元，中单净流入145.01万元，散户净流入219.29万元。
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