茂莱光学：龙头，
在流动比率方面，从2021年到2024年，分别为1.98%、1.92%、5.3%、2.5%。
近30日茂莱光学股价上涨37.58%，最高价为448.88元，2025年股价上涨54.02%。
精密光学器件已应用于国产光刻机。
苏大维格：龙头，
在营业总收入同比增长方面，苏大维格从2021年到2024年，分别为24.74%、-1.21%、0.4%、6.85%。
近30日股价上涨9.21%，2025年股价上涨8.66%。
福晶科技：龙头，
2025年第一季度福晶科技净利润4991.45万，同比增长3.36%；毛利润为1.19亿，毛利率49.76%。
近30日股价上涨25.9%，2025年股价上涨27.16%。
张江高科：龙头，
张江高科2025年第一季度，公司实现净利润2.94亿，同比增长147.38%；毛利润为3.46亿，毛利率28.36%。
张江高科在近30日股价上涨26.06%，最高价为38.25元，最低价为25.45元。当前市值为541.42亿元，2025年股价上涨23.34%。
国产光刻机概念股其他的还有：
奥普光电：中科院长光所控股，国内高端光栅编码器龙头企业，布局超精尺，可用于光刻机。
百川股份：光刻机溶剂PMA。
上海新阳：ARF光刻胶处于客户测试阶段。
南大光电：ARF光刻胶获部分客户认证。
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