据开云手机web版登录入口概念查询工具数据显示，光刻机概念龙头股有：
大族激光002008：
光刻机龙头，近7日大族激光股价上涨8.6%，2025年股价上涨8.93%，最高价为28.3元，市值为282.63亿元。
2020年6月17日公司在互动平台称：公司在研光刻机项目分辨率3-5μm，主要聚焦在分立器件、LED等领域的应用，今年有望实现小批量销售。
飞凯材料300398：
光刻机龙头，回顾近7个交易日，飞凯材料有3天上涨。期间整体上涨2.1%，最高价为19.35元，最低价为20.12元，总成交量1.75亿手。
光刻机概念股其他的还有：
东材科技601208：近5日东材科技股价上涨13.76%，总市值上涨了21.61亿，当前市值为157.03亿元。2025年股价上涨56.94%。
上海机电600835：近5日上海机电股价上涨14.4%，总市值上涨了39.78亿，当前市值为276.34亿元。2025年股价上涨33.68%。
万业企业600641：近5个交易日股价上涨5.9%，最高价为15.25元，总市值上涨了8.28亿，当前市值为140.43亿元。
电科数字600850：回顾近5个交易日，电科数字有3天上涨。期间整体上涨0.15%，最高价为26.39元，最低价为25.63元，总成交量4846.9万手。
华微电子600360：近5日股价上涨1.33%，2025年股价上涨44.48%。
东方明珠600637：回顾近5个交易日，东方明珠有2天上涨。期间整体上涨1.14%，最高价为8.03元，最低价为7.77元，总成交量2.15亿手。
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