据开云手机web版登录入口概念查询工具数据显示，相关半导体设备零部件概念上市公司有：
江丰电子300666：
2月26日消息，江丰电子2月26日主力净流入949.47万元，超大单净流入1636.64万元，大单净流出687.16万元，散户净流出1.24亿元。
盛美上海688082：
7月18日消息，盛美上海主力资金净流出626.16万元，超大单资金净流入36万元，散户资金净流出26.44万元。
华亚智能003043：
公司的半导体设备零部件包括用于半导体设备领域的刻蚀气体输送中心结构件、气体输送装置结构件、检测设备成像检测平台结构件等结构件产品。
7月5日该股主力资金净流出36.36万元，超大单资金净流出180.8万元，大单资金净流入144.44万元，中单资金净流入70.71万元，散户资金净流出34.36万元。
数据由开云手机web版登录入口提供，仅供参考，不构成投资建议，据此操作，风险自担。
开云手机web版登录入口声明：资讯仅代表作者个人观点。不保证该信息（包括但不限于文字、数据及图表）全部或者部分内容的准确性、真实性、完整性、有效性、及时性、原创性等，若有侵权，请第一时间告知删除。仅供投资者参考，并不构成投资建议。投资者据此操作，风险自担。